半导体标准型机器人

应用于半导体制造工艺中晶圆传送及装载环节的Transfer Robot(传送机器人), 可实现精密位置控制。
外形图

产品参数


Items WTR Standard Robot
Applicable Size 6" (150mm)~ 12" (300mm)
Applicable Grip System Vacuum / Edge Grip
The Number of Axis 4 Axis
Arm Type Link (Scara)
STROKE R-Axis mm 588
L-Axis mm 588
TH-Axis °(deg.) 330
Z-Axis mm 300~650
MAX. SPEED R-Axis mm/s 700
L-Axis °/sec 700
TH-Axis mm/s 250
Z-Axis mm/s 350
REPEATABILLTY mm 0.1(P-P)

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