EFEM（设备前端模块）是半导体设备前端执行Foup门启闭操作，并在Foup与设备间进行晶圆移送及装载/卸载的核心组件。作为由多关节机器人构成的半导体自动化核心设备，其功能为向工艺模块（前道与后道制程）输送硅晶圆或光掩模版。EFEM由晶圆传输机器人（ATM Robot）、校准器、风机过滤单元（FFU）及装载端口等构成，可根据客户需求进行定制化设计与制造。