STROKE移动台车
STROKE别移动台车设计
移动台车设计移动台车是采用伺服电机的位置控制单元,作为扩展机器人及其他应用设备工作范围的核心装置。应用于焊接设备、等离子切割等多种自动化工艺,尤其在玻璃基板移送及汽车产业领域广泛使用。
移动台车按工作台类型&0ST~20,000ST行程规格,根据客户需求进行定制化设计与制造
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EFEM半导体机器人
EFEM半导体机器人
EFEM(设备前端模块)是半导体设备前端执行Foup门启闭操作,并在Foup与设备间进行晶圆移送及装载/卸载的核心组件。作为由多关节机器人构成的半导体自动化核心设备,其功能为向工艺模块(前道与后道制程)输送硅晶圆或光掩模版。EFEM由晶圆传输机器人(ATM Robot)、校准器、风机过滤单元(FFU)及装载端口等构成,可根据客户需求进行定制化设计与制造。
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液晶面板分盘机器人
LCD & OLED 65" PANEL ROBOT
LCD Panel Robot 65”应用于LCD及OLED制造工艺中玻璃基板的移动与处理环节。负责玻璃基板的安全精准搬运,执行工艺过程中的基板移送、装载、卸载、定位校准等操作。
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液晶面板分盘机器人
LCD & OLED 75" PANEL ROBOT
LCD Panel Robot 75”应用于LCD及OLED制造工艺中玻璃基板的移动与处理环节。负责玻璃基板的安全精准搬运,执行工艺过程中的基板移送、装载、卸载、定位校准等操作
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半导体SCARA型机器人
WTR SCARA ROBOT
应用于半导体制造工艺中晶圆传送及装载环节的Transfer Robot(传送机器人), 可实现精密位置控制。
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半导体标准型机器人
WTR STANDARD Robot
应用于半导体制造工艺中晶圆传送及装载环节的Transfer Robot(传送机器人), 可实现精密位置控制。
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